Азот трифлорид (NF3) югары чисталык газы
Төп мәгълүмат
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Бу нәрсә ул?
Азот трифлорид (NF3) - бүлмә температурасында һәм атмосфера басымында төссез һәм иссез газ. Аны уртача басым астында сыекландырырга мөмкин. NF3 гадәти шартларда тотрыклы һәм тиз бозылмый. Ләкин, ул югары температурага эләккәндә яки кайбер катализаторлар булганда таркалырга мөмкин. NF3 атмосферага чыкканда югары глобаль җылыну потенциалына ия (GWP).
Бу материалны кайда кулланырга?
Электроника өлкәсендә чистарту агенты: NF3 ярымүткәргечләр, плазма дисплей панельләре (PDP) һәм башка электрон компонентлар өслегеннән оксид кебек калдыкларны пычратучы чистарту агенты буларак киң кулланыла. Бу өслекләргә зыян китермичә эффектив чистарта ала.
Ярымүткәргеч эшкәртүдә газ чыгару: NF3 ярымүткәргечләр җитештерү процессында газ чыгару өчен кулланыла. Бу кремний диоксиды (SiO2) һәм кремний нитриды (Si3N4) эшкәртүдә аеруча эффектив, алар интеграль схемалар ясауда кулланыла торган гомуми материаллар.
Highгары чисталыклы фтор кушылмалары җитештерү: NF3 - төрле фторлы кушылмалар җитештерү өчен кыйммәтле фтор чыганагы. Ул флюорополимерлар, фторокарбоннар, махсус химик матдәләр җитештерүдә прекурсор буларак кулланыла.
Тигез панель дисплей җитештерүендә плазма җитештерү: NF3 башка газлар белән берлектә сыек кристалл дисплейлар (LCD) һәм PDP кебек яссы панель дисплейлар җитештерүдә плазма ясау өчен кулланыла. Плазма панель ясау вакытында чүпләүдә һәм эшкәртү процессында бик мөһим.
Игътибар итегез, бу материалны / продуктны куллану өчен махсус кушымталар һәм кагыйдәләр ил, сәнәгать һәм максат буенча төрле булырга мөмкин. Materialәрвакыт куркынычсызлык кагыйдәләрен үтәгез һәм бу материалны / продуктны теләсә нинди кушымтада кулланганчы белгеч белән киңәшләшегез.
